引言 現(xiàn)代汽車正由一個單純交通工具朝著能滿足人類需求和安全、舒適、方便及無污染的方向發(fā)展。要實現(xiàn)這些目標(biāo)的關(guān)鍵在于汽車的電子化和智能化，先決條件則是各種信息的及時獲取，這勢必要求在汽車中大量采用各種傳感器。傳統(tǒng)的傳感器往往體積和重量大、成本高，它們在汽車的應(yīng)用受到很大的限制。 近幾年來，從半導(dǎo)體集成電路（IC）技術(shù)發(fā)展而來的微機電系統(tǒng)（microelectronmechnicalsystem,MESM）技術(shù)日漸成熟。微型傳感器是目前最為成功并最具實用性的微型機電器件，主要包括利用微型膜片的機械形變產(chǎn)生電信信號輸出的微型壓力傳感器和微型加速度傳感器；此外，還有微型溫度傳感器、磁場陳干起、氣體傳感器等，這些微型傳感器的面積大多在1mm2以下。隨著微電子加工技術(shù)，特別是納米加工技術(shù)的進一步發(fā)展，傳感器技術(shù)還將從微型傳感器進化到納米傳感器。這些微型傳感器體積小，可實現(xiàn)許多全新的功能，便于大批量和高精度生產(chǎn)，單件成本低，易構(gòu)成大規(guī)模和多功能陣列，這些特點使它們非常適合于汽車方面的應(yīng)用。 1、汽車用傳感器分類 汽車用傳感器是用于汽車顯示和電控系統(tǒng)的各種傳感器的統(tǒng)稱。它涉及到很多的物理量傳感器和化學(xué)量傳感器。這些傳感器要么是使司機了解汽車各部分狀態(tài)的；要么是用于控制汽車各部分狀態(tài)的。按在汽車上的作用可分為控制發(fā)動機、控制底盤以及給駕駛員提供各種信息用傳感器，構(gòu)成這些傳感器的材料有精細(xì)陶瓷、半導(dǎo)體材料、光導(dǎo)纖維及高分子薄膜等；按輸出特性來分有模擬型傳感器和數(shù)字型傳感器；按構(gòu)成原理來分，有結(jié)構(gòu)型、韌性型和復(fù)合型。為方便起見，現(xiàn)按汽車傳感器的控制對象來分類。 2、微型傳感器在汽車中的應(yīng)用

引言 現(xiàn)代汽車正由一個單純交通工具朝著能滿足人類需求和安全、舒適、方便及無污染的方向發(fā)展。要實現(xiàn)這些目標(biāo)的關(guān)鍵在于汽車的電子化和智能化，先決條件則是各種信息的及時獲取，這勢必要求在汽車中大量采用各種傳感器。傳統(tǒng)的傳感器往往體積和重量大、成本高，它們在汽車的應(yīng)用受到很大的限制。 近幾年來，從半導(dǎo)體集成電路（IC）技術(shù)發(fā)展而來的微機電系統(tǒng)（microelectronmechnicalsystem,MESM）技術(shù)日漸成熟。微型傳感器是目前最為成功并最具實用性的微型機電器件，主要包括利用微型膜片的機械形變產(chǎn)生電信信號輸出的微型壓力傳感器和微型加速度傳感器；此外，還有微型溫度傳感器、磁場陳干起、氣體傳感器等，這些微型傳感器的面積大多在1mm2以下。隨著微電子加工技術(shù)，特別是納米加工技術(shù)的進一步發(fā)展，傳感器技術(shù)還將從微型傳感器進化到納米傳感器。這些微型傳感器體積小，可實現(xiàn)許多全新的功能，便于大批量和高精度生產(chǎn)，單件成本低，易構(gòu)成大規(guī)模和多功能陣列，這些特點使它們非常適合于汽車方面的應(yīng)用。 1、汽車用傳感器分類 汽車用傳感器是用于汽車顯示和電控系統(tǒng)的各種傳感器的統(tǒng)稱。它涉及到很多的物理量傳感器和化學(xué)量傳感器。這些傳感器要么是使司機了解汽車各部分狀態(tài)的；要么是用于控制汽車各部分狀態(tài)的。按在汽車上的作用可分為控制發(fā)動機、控制底盤以及給駕駛員提供各種信息用傳感器，構(gòu)成這些傳感器的材料有精細(xì)陶瓷、半導(dǎo)體材料、光導(dǎo)纖維及高分子薄膜等；按輸出特性來分有模擬型傳感器和數(shù)字型傳感器；按構(gòu)成原理來分，有結(jié)構(gòu)型、韌性型和復(fù)合型。為方便起見，現(xiàn)按汽車傳感器的控制對象來分類，如表1所示。 2、微型傳感器在汽車中的

作者：紹 瑩 劉 麗 來源：《電子產(chǎn)品世界》 微型傳感器家族新成員-微型接近傳感器 利用MEMS（Micro Electromechanical System，微機電系統(tǒng)）技術(shù)制作的微型傳感是近年來傳翕器發(fā)展的主流之一，特點是體積小、重量輕、功耗低、功能集成高和可靠性高等。其制造過程利用了半導(dǎo)體業(yè)較為成熟的工藝，能實現(xiàn)與之類似的大批量、高精度加工。目前，已研制出的微型傳感器種類繁多，其中壓力、加速度、磁（霍爾效應(yīng)）、溫度、光學(xué)（CCD）等傳感器已有成熟商品問世。本文則將以Xiaofeng Yang(Advanced Micro Machines公司)等人研制的一種單片式傳感器為例，介紹微型接近傳感器這一微型傳感家庭的新成員。 用途及基本原理 這種表型傳感器主要用于為最終用戶的產(chǎn)品提供一種檢測其是否被移動、改動或摔

              日立制作所與YRP泛在網(wǎng)絡(luò)化研究所2004年11月24日宣布開發(fā)出了全球體積最小的傳感器網(wǎng)絡(luò)終端。該終端為安裝電池的有源無線終端，可以搭載溫度、亮度、紅外線、加速度等各種傳感器。設(shè)想應(yīng)用于大樓與家庭的無線傳感器以及安全管理方面。此次開發(fā)的是利用頻率為300MHz的微弱無線信號與基站進行通信的無線終端。通信距離在10米左右。配備有8位微控制器，使用該公司自已的無線標(biāo)準(zhǔn)及通信協(xié)議。使用電源為鋰離子充電電池或本田電池。型號最小的終端尺寸包括鋰離子充電電池在內(nèi)為2.3cm×2.0cm×1.5cm，體積6.9cm3。由于“原來最小的也在10cm3左右”（日立制作所），所以該終端“是目前全世界最小的”（日立制作所）。 除尺寸外，通信方式采用“間歇發(fā)射型”（日立制作所），電池工作時間也得以大幅度延長?！霸冢▊溆玫膫鞲衅骶W(wǎng)絡(luò)無線端口）ZigBee中，由基站向終端發(fā)出名為標(biāo)識（Beacon）的控制信號，終端為接收這一信號而耗費電力。此次開發(fā)的終端是通過終端向基站發(fā)出信號才開始通信，所以不需要等待信號”（日立制作所）。 具體待機時間為，使用電壓＋3.7V、容量150mAh的市售鋰離子充電電池時，“將無線通信設(shè)定為5分鐘發(fā)射一次的話、無需更換電池或充電即可使用1年半時間”（日立制作所）。另一方面，在ZigBee下，盡管經(jīng)常號稱“2節(jié)3號堿性干電池可使用1年～2年”。但每節(jié)3號堿性干電池的容量為1000mAh～2000mAh

1、前言 當(dāng)今，具有智能傳感器技術(shù)撿測頭的呼吸醫(yī)療監(jiān)視儀已經(jīng)聞世，這就比較理想地解決了對各種情感和呼吸之間聯(lián)系作大量研究的問題，并且可以用來真實紀(jì)錄一個人的呼吸狀況及其變化。 在此本文對呼吸監(jiān)視儀中用微型傳感器-硅壓阻式傳感器（SPRT）與MAX1450或MAX1457信號調(diào)理器組成新型智能傳感器及在技術(shù)方案中的功能作一個分析與介紹。 2、呼吸醫(yī)療監(jiān)視儀與智能傳感器及技術(shù)（其組成框圖，見圖1所示） 2.1呼吸醫(yī)療監(jiān)視儀(見圖1右面所示) 該監(jiān)視儀的用途是用來監(jiān)視呼吸狀況，并能給出大致的呼吸深度。這個監(jiān)測儀監(jiān)測一些可以用來評價焦慮程度的重要參數(shù)：呼吸頻率、呼吸的均勻程度以及呼氣和吸氣之間的間歇。平靜、積極的情緒通常會導(dǎo)致呼出長于吸入，二者時間之比的參數(shù)，能從一個方面揭示人的焦慮程度。相對較高水平的胸呼吸（相對于腹呼吸）也可說明焦慮程度。監(jiān)視儀對胸呼吸的觀察反映出監(jiān)視儀具有大量的可視信息功能。 2.2智能傳感器技術(shù) 圖1中的呼吸監(jiān)視儀采用硅壓阻式傳感器（SPRT—Siliconpiezoresistancetransducer）檢測吸入與呼出時對應(yīng)壓力的降低和增加。SPRT的輸出被饋入一個MAX1450或MAX1457信號調(diào)理器芯片，而MAX1450或MAX1457信號調(diào)理器芯片又對SPRT的進行驅(qū)激勵(或用電流源激勵)，其SPRT固有誤差又被饋入MAX1450或MAX1457之后并被校正，然后將經(jīng)過補償?shù)碾妷盒盘査腿刖哂?2位的模數(shù)轉(zhuǎn)換器（ADC）MAX1202。ADC輸出（數(shù)字化的壓力信號）進入一個PC接口MAX3232，并被轉(zhuǎn)換為RS-232電平。最后信號被傳遞到PC

http://cnbpq.com 文中針對反應(yīng)堆中一種具有小間隙窄長疊層薄板結(jié)構(gòu)形式的堆芯元件（簡稱板型元件）在高速流場中流體誘發(fā)振動和動態(tài)失穩(wěn)等問題研制出了一種微型傳感器以適應(yīng)電磁法的要求，這種微型傳感器具有體積小，制作簡單，幾乎不干擾“流場”等優(yōu)點。通過對板型元件流致振動試驗的綜合動態(tài)測試，結(jié)果表明這種微型傳感器可靠而有效。 由于堆疊層板狀堆芯元件流致振動及穩(wěn)定性研究是核工業(yè)科學(xué)基金資助課題，其研究內(nèi)容是針對一種新型反應(yīng)堆燃料元件—疊層板狀元件在高速流場中誘發(fā)振動和動態(tài)失穩(wěn)等問題。這些問題的研究竟對反應(yīng)堆熱交換系統(tǒng)的設(shè)計和工藝提供新的測試方法和必要的數(shù)據(jù)，從而克服目前在設(shè)計中的盲目性。 由于研究對象是一種新型構(gòu)件，工作環(huán)境和結(jié)構(gòu)有其特殊性，采用常規(guī)測試方法難以達到目的。通過反復(fù)研究和探索，決定采用電磁測試法的方案。根據(jù)電磁法的要求，首先要有一種傳感器，這種傳感器必須考慮到測試條件的特殊性，屬非標(biāo)準(zhǔn)器件，要滿足課題的要求，只有自行設(shè)計制造。這種微型傳感器為了采集板型元件流致振動的信號供信號分析儀和計算機分析研究，并對電磁測試法的其它電氣設(shè)備進行了探索性的研究。最后通過兩年的實測使用，證明是成功的。該項目曾榮獲核工業(yè)科技進步二等獎。

安全、舒適、無污染、經(jīng)濟性一直是汽車工業(yè)和用戶追求的目標(biāo)。實現(xiàn)這些目標(biāo)的關(guān)鍵在于汽車的電子化和智能化，先決條件則是各種信息的及時獲取，這勢必要求在汽車中大量采用各種傳感器。傳統(tǒng)的傳感器往往體積和重量大，成本高，它們在汽車的應(yīng)用受到很大的限制。近年來從半導(dǎo)體集成電路(IC)技術(shù)發(fā)展而來的MEMS (Microelectromechnical SYSTEM, 微電子機械系統(tǒng))技術(shù)日漸成熟。利用這一技術(shù)可以制作各種能敏感和檢測力學(xué)量、磁學(xué)量、熱學(xué)量、化學(xué)量和生物量的微型傳感器，這些傳感器的體積和能耗小，可實現(xiàn)許多全新的功能，便于大批量和高精度生產(chǎn)，單件成本低，易構(gòu)成大規(guī)模和多功能陣列，這些特點使得它們非常適合于汽車方面的應(yīng)用。80年代初，微型壓阻式多路絕對壓力（Manifold Absolute Pressure）傳感器開始大批量生產(chǎn)，取代了早期采用LVDT技術(shù)的壓力傳感器。80年代中期微型加速度傳感器開始用于汽車安全氣囊,它們是到目前為止大量生產(chǎn)的、并在汽車中得到廣泛應(yīng)用的微型傳感器。然而微型傳感器的大規(guī)模應(yīng)用勢必將不限于發(fā)動機燃燒控制和安全氣囊,在未來5～7年內(nèi)包括發(fā)動機運行管理、廢氣與空氣質(zhì)量控制、ABS(antilock brake SYSTEM,防抱死系統(tǒng)）、車輛動力學(xué)控制、自適應(yīng)導(dǎo)航、車輛行駛安全系統(tǒng)（如氣囊和障礙物檢測與避撞等）在內(nèi)的應(yīng)用將為MEMS技術(shù)提供廣闊的市場。全世界的汽車產(chǎn)量將從2000年的4750萬輛(包括客車、特種車輛和輕型卡車）增長到2005年的5400萬輛。2000年汽車用電子產(chǎn)品的市場為227億美元，預(yù)計到2005年達到309億美元，年平均增長率達

李學(xué)東,余志偉,楊明忠 摘要：和傳統(tǒng)的傳感器相比,微型傳感器具有許多新特性,它們能夠彌補傳統(tǒng)傳感器的不足,具有廣泛的應(yīng)用前景,越來越受到重視。文中詳細(xì)介紹了一些微型傳感器件的結(jié)構(gòu)和原理,說明了微型傳感器的基本性能特點和微型傳感器的發(fā)展趨勢。 關(guān)鍵詞：MEMS 技術(shù)；微型傳感器；智能化；多功能化 微型傳感器的特點 傳統(tǒng)的傳感器件因其制作工藝與半導(dǎo)體IC 工藝不兼容,所以無論在性能、尺寸和成本上都不能與通過IC 技術(shù)制作的高速度、高密度、小體積和低成本的信號處理器件相適應(yīng),于是制約了整個系統(tǒng)的集成化、批量化和性能的充分發(fā)揮。 微型傳感器不是傳統(tǒng)傳感器簡單的物理縮小的產(chǎn)物,而是以新的工作機制和物化效應(yīng),使用標(biāo)準(zhǔn)半導(dǎo)體工藝兼容的材料,通過MEMS 加工技術(shù)制備的新一代傳感器件,具有小型化、集成化的特點，可以極大地提高傳感器性能。在信號傳輸前就可放大信號,從而減少干擾和傳輸噪音,提高信噪比;在芯片上集成反饋線路和補償線路,可改善輸出的線性度和頻響特性,降低誤差,提高靈敏度。 具有陣列性。可以在一塊芯片上集成敏感元件、放大電路和補償線路?？梢园讯鄠€相同的敏感元件集成在同一芯片上；具有良好的兼容性,便于與微電子器件集成與封裝。 利用成熟的硅微半導(dǎo)體工藝加工制造,可以批量生產(chǎn),成本非常低廉。 典型的微型傳感器 微機械加速度傳感器 它是最早利用MEMS 技術(shù)開發(fā)成功,并取得廣泛應(yīng)用的微型傳感器之一。微加速度傳感器的主要工作方式有壓阻式、電容式、力平衡式和諧振式,現(xiàn)在又出現(xiàn)了微機械熱對流式加速度傳感器。 圖1 和圖2 分別給出了新型加速度傳感器作用原理和結(jié)構(gòu)示意圖。在懸臂梁

美國麻省理工學(xué)院研究人員正在全力開發(fā)一種微型傳感器，該傳感器能對微量有毒氣體做出相當(dāng)強烈的反應(yīng)，能比以往任何裝置都更加迅速地檢測有毒工業(yè)化學(xué)品和生化戰(zhàn)劑。研究人員在2008年微型機電系統(tǒng)（MEMS）大會上介紹了這一研究計劃。美國“每日科學(xué)”網(wǎng)近日發(fā)布了這一消息。 有別于以往的實驗室設(shè)備，這種微型氣體探測器在現(xiàn)實環(huán)境中更易于使用，可以分散布置在室內(nèi)或室外任何區(qū)域。該小型裝置既減少了額定功率的消耗，還能對更為微量的氣體作出敏感反應(yīng)。 研究人員計劃制造出的整個探測裝置僅為一個火柴盒大小。探測裝置將利用氣相色譜—質(zhì)譜技術(shù)感受識別氣體分子，并將檢驗結(jié)果轉(zhuǎn)化成電子報警信號。目前世界上已有的便攜式氣相色譜—質(zhì)譜儀需要耗時15分鐘才能給出結(jié)果，且有效探測范圍只有約一個食品袋容積大小。在耗能方面，已有的便攜式氣體傳感器需要耗用上千焦耳的能量，而新型傳感器耗能只有約4焦耳，且只用4秒鐘就能給出結(jié)果。 研究人員計劃在兩年內(nèi)完成開發(fā)，研發(fā)成功后將主要適用于保護供水系統(tǒng)和醫(yī)療診斷系統(tǒng)。

據(jù)有關(guān)報告顯示,2008年全球傳感器市場規(guī)模為506億美元,而到2010年預(yù)計全球傳感器市場則可達600億美元以上.近些年來,與半導(dǎo)體工藝的融合成為推動傳感器發(fā)展的一個重要動力,這種融合使傳感器的性能更加強大,而體積卻越來越小,催生出微型傳感器.微型傳感器的出現(xiàn)使原本在很多不能應(yīng)用傳感器的領(lǐng)域得以應(yīng)用傳感器件,從而為系統(tǒng)產(chǎn)品的智能化提供了條件.與此同時,傳感器應(yīng)用領(lǐng)域的拓展帶來了更多的市場需求.近些年來,基于MEMS等技術(shù)的新興微型傳感器如加速度傳感器、角速度傳感器、無線傳感器、生物傳感器、光傳感器等的普及不斷給傳感器市場帶來新的增長點.比如最近興起的傳感網(wǎng)概念,就與微型無線傳感器息息相關(guān),也正是受益于傳感網(wǎng)的發(fā)展,無線傳感器市場受到業(yè)界的關(guān)注并增長迅速,據(jù)有關(guān)市場研究機構(gòu)預(yù)測,在2007-2010年該市場年復(fù)合增長率會超過25%. 微型傳感器工藝技術(shù)創(chuàng)新 微型傳感器聽起來是體積微小的傳感器,但實際上,它并不是傳統(tǒng)傳感器簡單物理縮小的產(chǎn)物.據(jù)專家介紹,它是以新的工作機制和物化效應(yīng),使用標(biāo)準(zhǔn)半導(dǎo)體工藝兼容的材料,通過MEMS等加工技術(shù)制備的新一代傳感器件,具有小型化、集成化的特點,可以極大地提高傳感器性能.它的出現(xiàn)解決了傳統(tǒng)的傳感器因其制作工藝與半導(dǎo)體工藝不兼容,在性能、尺寸和成本上不能與通過半導(dǎo)體技術(shù)制作的高速度、高密度、小體積和低成本的信號處理器件相適應(yīng)的難題. 為滿足市場更高的要求,傳感器廠商在技術(shù)與工藝上不斷進步,產(chǎn)品也更加差異化.比如,愛普生的微型傳感器采用QMEMS工藝制作.愛普生(中國)有限公司副總經(jīng)理酒井嘉弘告訴《中國電子報》的記者, QMEMS是合并了Q

1、前言 當(dāng)今，具有智能傳感器技術(shù)撿測頭的呼吸醫(yī)療監(jiān)視儀已經(jīng)聞世，這就比較理想地解決了對各種情感和呼吸之間聯(lián)系作大量研究的問題，并且可以用來真實紀(jì)錄一個人的呼吸狀況及其變化。 在此本文對呼吸監(jiān)視儀中用微型傳感器-硅壓阻式傳感器（SPRT）與MAX1450或MAX1457信號調(diào)理器組成新型智能傳感器及在技術(shù)方案中的功能作一個分析與介紹。 2、呼吸醫(yī)療監(jiān)視儀與智能傳感器及技術(shù) 2.1呼吸醫(yī)療監(jiān)視儀 該監(jiān)視儀的用途是用來監(jiān)視呼吸狀況，并能給出大致的呼吸深度。這個監(jiān)測儀監(jiān)測一些可以用來評價焦慮程度的重要參數(shù)：呼吸頻率、呼吸的均勻程度以及呼氣和吸氣之間的間歇。平靜、積極的情緒通常會導(dǎo)致呼出長于吸入，二者時間之比的參數(shù)，能從一個方面揭示人的焦慮程度。相對較高水平的胸呼吸（相對于腹呼吸）也可說明焦慮程度。監(jiān)視儀對胸呼吸的觀察反映出監(jiān)視儀具有大量的可視信息功能。 2.2智能傳感器技術(shù) 呼吸監(jiān)視儀采用硅壓阻式傳感器（SPRT—Silicon piezoresistance transducer）檢測吸入與呼出時對應(yīng)壓力的降低和增加。SPRT的輸出被饋入一個MAX1450或MAX1457信號調(diào)理器芯片，而MAX1450或MAX1457信號調(diào)理器芯片又對SPRT的進行驅(qū)激勵(或用電流源激勵)，其SPRT固有誤差又被饋入MAX1450或MAX1457之后并被校正，然后將經(jīng)過補償?shù)碾妷盒盘査腿刖哂?2位的模數(shù)轉(zhuǎn)換器（ADC）MAX1202。ADC輸出（數(shù)字化的壓力信號）進入一個PC接口MAX3232，并被轉(zhuǎn)換為RS-232電平。最后信號被傳遞到PC機系統(tǒng)，這樣就可以顯示出呼吸波形，并對以上所述參數(shù)進行分

美國麻省理工學(xué)院研究人員正在全力開發(fā)一種微型傳感器，該傳感器能對微量有毒氣體做出相當(dāng)強烈的反應(yīng)，能比以往任何裝置都更加迅速地檢測有毒工業(yè)化學(xué)品和生化戰(zhàn)劑。研究人員在2008年微型機電系統(tǒng)（MEMS）大會上介紹了這一研究計劃。美國“每日科學(xué)”網(wǎng)近日發(fā)布了這一消息。 有別于以往的實驗室設(shè)備，這種微型氣體探測器在現(xiàn)實環(huán)境中更易于使用，可以分散布置在室內(nèi)或室外任何區(qū)域。該小型裝置既減少了額定功率的消耗，還能對更為微量的氣體作出敏感反應(yīng)。 研究人員計劃制造出的整個探測裝置僅為一個火柴盒大小。探測裝置將利用氣相色譜—質(zhì)譜技術(shù)感受識別氣體分子，并將檢驗結(jié)果轉(zhuǎn)化成電子報警信號。目前世界上已有的便攜式氣相色譜—質(zhì)譜儀需要耗時15分鐘才能給出結(jié)果，且有效探測范圍只有約一個食品袋容積大小。在耗能方面，已有的便攜式氣體傳感器需要耗用上千焦耳的能量，而新型傳感器耗能只有約4焦耳，且只用4秒鐘就能給出結(jié)果。 研究人員計劃在兩年內(nèi)完成開發(fā)，研發(fā)成功后將主要適用于保護供水系統(tǒng)和醫(yī)療診斷系統(tǒng)。

美國麻省理工學(xué)院研究人員正在全力開發(fā)一種微型傳感器，該傳感器能對微量有毒氣體做出相當(dāng)強烈的反應(yīng)，能比以往任何裝置都更加迅速地檢測有毒工業(yè)化學(xué)品和生化戰(zhàn)劑。研究人員在2008年微型機電系統(tǒng)(MEMS)大會上介紹了這一研究計劃。美國“每日科學(xué)”網(wǎng)近日發(fā)布了這一消息。 有別于以往的實驗室設(shè)備，這種微型氣體探測器在現(xiàn)實環(huán)境中更易于使用，可以分散布置在室內(nèi)或室外任何區(qū)域。該小型裝置既減少了額定功率的消耗，還能對更為微量的氣體作出敏感反應(yīng)。 研究人員計劃制造出的整個探測裝置僅為一個火柴盒大小。探測裝置將利用氣相色譜—質(zhì)譜技術(shù)感受識別氣體分子，并將檢驗結(jié)果轉(zhuǎn)化成電子報警信號。目前世界上已有的便攜式氣相色譜—質(zhì)譜儀需要耗時15分鐘才能給出結(jié)果，且有效探測范圍只有約一個食品袋容積大小。在耗能方面，已有的便攜式氣體傳感器需要耗用上千焦耳的能量，而新型傳感器耗能只有約4焦耳，且只用4秒鐘就能給出結(jié)果。 研究人員計劃在兩年內(nèi)完成開發(fā)，研發(fā)成功后將主要適用于保護供水系統(tǒng)和醫(yī)療診斷系統(tǒng)。

南京宏沐科技有限公司于2006年與德國HELM合作組建成立，專業(yè)從事壓力、液位、溫度測控儀表的研發(fā)和生產(chǎn)。日前，該公司研制生產(chǎn)的HM91微型壓力傳感器成功應(yīng)用于成都勘測科學(xué)院水利項目。 HM91系列微小型、超薄型及特殊形狀的壓力傳感器，采用了德國HELM壓力傳感器硅疊硅技術(shù)、國際先進的微型化制作與封裝工藝、高精度集成壓阻力敏元件，進行了精致巧妙的微型封裝，具有優(yōu)良的動靜態(tài)特性。 目前出于對被測流場、安放位置或動態(tài)頻響的要求，必須原位測壓時，常常對傳感器的外形尺寸的微型化有較為苛刻的要求，以期在不干擾流場狀態(tài)情況下，復(fù)現(xiàn)脈動流場的變化規(guī)律。HM91微型壓力傳感器很好的回避了同類產(chǎn)品的弊端，可廣泛應(yīng)用于空氣動力學(xué)研究、飛行器及發(fā)動機試驗、風(fēng)洞試驗、流體力學(xué)及水工試驗、水輪機及水下兵器試驗、生物醫(yī)學(xué)應(yīng)用、化爆或核爆沖擊波等許多研究中。 該產(chǎn)品技術(shù)參數(shù)為： 量 程0～10KPa至0～6MPa間任意量程 體積小，高頻動態(tài)響應(yīng)，動態(tài)壓力傳感器,微型壓力傳感器最小直徑為2.54mm，長度為3.77mm，用于風(fēng)洞試驗、葉輪機葉片壓力測量等場合。 高精度，

先進的半導(dǎo)體技術(shù)已經(jīng)成熟地應(yīng)用于我們的日常生活中，目前在這個領(lǐng)域存在大量的研究、資源開發(fā)和投資。通過MEMS技術(shù)在半導(dǎo)體上的應(yīng)用，我們可以在MEMS領(lǐng)域里獲得同樣的收益。通過采用MEMS技術(shù)，傳統(tǒng)半導(dǎo)體產(chǎn)品的成本、功耗、性能和物理尺寸的表現(xiàn)都將得到提升。過去很多MEMS設(shè)備被應(yīng)用于汽車、工業(yè)和導(dǎo)航領(lǐng)域，現(xiàn)在通過采用先進的半導(dǎo)體工藝和系統(tǒng)解決方案，我們可以使其應(yīng)用于消費類電子設(shè)備比如游戲機、移動電話、數(shù)字照相機等。 美新半導(dǎo)體提供加速度計以及地磁傳感器，對加速度計而言，我們正在采用獨有的熱對流技術(shù)來檢測重力加速度。 至于磁性傳感器，我們采用AMR技術(shù)(各向異性磁電阻)。盡管它是一個老的技術(shù)，但對消費類電子應(yīng)用來說是一個很好的技術(shù)。傳統(tǒng)的霍爾效應(yīng)傳感器需要消耗較多的電流，因此在消費類電子上的應(yīng)用有很大的劣勢。如果在消費類電子產(chǎn)品的電路板上沒有被正確放置，GMR(巨磁電阻)可能被永久損壞。相反的，AMR技術(shù)沒有這些缺點，并且用很少的電流，有很高的精度和分辨率，而且具有低噪音和更長的使用壽命等特點。這項技術(shù)非常適用于消費電子。 微型傳感器未來的應(yīng)用發(fā)展趨勢一定會在家庭和消費類電子上，因為它們是成長最快，也是最大的市場。傳統(tǒng)的MEMS已經(jīng)滲透到工業(yè)、汽車和導(dǎo)航系統(tǒng)的市場，我們看到基于MEMS技術(shù)的新產(chǎn)品提供了很低的成本，從而使相關(guān)市場受益。 我們主要的市場是在移動電話，特別是國內(nèi)的移動電話市場。因為中國市場的獨特性，我們?yōu)閲鴥?nèi)的手機客戶提供整體解決方案。我們和應(yīng)用研發(fā)公司一起合作，用我們的加速度計和磁傳感器開發(fā)了比如游戲、新的手機UI界面等等的應(yīng)用。我們也為不同的手機操作系統(tǒng)提供API

2006-2010年MEMS手機市場規(guī)模 單位：百萬美元 采用新型技術(shù)與工藝的微型傳感器，拓展了應(yīng)用領(lǐng)域，滿足了更高的要求，成為推動傳感市場發(fā)展的動力。 據(jù)有關(guān)報告顯示，2008年全球傳感器市場規(guī)模為506億美元，而到2010年預(yù)計全球傳感器市場則可達600億美元以上。近些年來，與半導(dǎo)體工藝的融合成為推動傳感器發(fā)展的一個重要動力，這種融合使傳感器的性能更加強大，而體積卻越來越小，催生出微型傳感器。微型傳感器的出現(xiàn)使原本在很多不能應(yīng)用傳感器的領(lǐng)域得以應(yīng)用傳感器件，從而為系統(tǒng)產(chǎn)品的智能化提供了條件。與此同時，傳感器應(yīng)用領(lǐng)域的拓展帶來了更多的市場需求。近些年來，基于MEMS等技術(shù)的新興微型傳感器如加速度傳感器、角速度傳感器、無線傳感器、生物傳感器、光傳感器等的普及不斷給傳感器市場帶來新的增長點。比如最近興起的傳感網(wǎng)概念，就與微型無線傳感器息息相關(guān)，也正是受益于傳感網(wǎng)的發(fā)展，無線傳感器市場受到業(yè)界的關(guān)注并增長迅速，據(jù)有關(guān)市場研究機構(gòu)預(yù)測，在2007-2010年該市場年復(fù)合增長率會超過25%。 微型傳感器工藝技術(shù)創(chuàng)新 微型傳感器聽起來是體積微小的傳感器，但實際上，它并不是傳統(tǒng)傳感器簡單物理縮小的產(chǎn)物。據(jù)專家介紹，它是以新的工作機制和物化效應(yīng)，使用標(biāo)準(zhǔn)半導(dǎo)體工藝兼容的材料，通過MEMS等加工技術(shù)制備的新一代傳感器件，具有小型化、集成化的特點，可以極大地提高傳感器性能。它的出現(xiàn)解決了傳統(tǒng)的傳感器因其制作工藝與半導(dǎo)體工藝不兼容，在性能、尺寸和成本上不能與通過半導(dǎo)體技術(shù)制作的高速度、高密度、小體積和低成本的信號處理器件相適應(yīng)的難題。 為滿足市場更高的要求，傳感器廠商在技術(shù)與工藝上不斷進步，產(chǎn)品

據(jù)市場研究公司BCC Research最新發(fā)表的研究報告稱，2008年全球微傳感器市場的銷售收入將達32億美元，比2007年的27億美元增長18.5%。到2013年，全球微傳感器市場的銷售收入將達到84億美元。這個市場從2008年至2013年的復(fù)合年增長率為21.3%。 BCC Research把這個市場分為微電機系統(tǒng)、生物芯片和納米傳感器等應(yīng)用市場。微電機系統(tǒng)是最大的微傳感器市場，2007年的銷售收入為22億美元。這個市場2008年的銷售收入將達26億美元，2013年的銷售收入將達64億美元，復(fù)合年增長率為19.6%。2007年微電機系統(tǒng)占整個微傳感器市場份額的82.8%。這個比例在2013年將下降到76.5%。 生物芯片是第二大市場，2007年的銷售收入為4.65億美元，預(yù)計2008年的銷售收入將達5.815億美元，2013年的銷售收入將達18億美元，復(fù)合年增長率為25.6%。生物芯片2007年占整合微傳感器市場的份額為17.2%，預(yù)計到2013年將提高到21.6%。 納米傳感器在2008年以后的商業(yè)性銷售將顯著增長，到2013年的銷售收入將達1.599億美元，占整合微傳感器市場份額的將近2%。 在2007年，微電機系統(tǒng)壓力傳感器是最大的微傳感器市場，其次是微電機系統(tǒng)過載傳感器、生物芯片、微電機系統(tǒng)陀螺儀、化學(xué)和燃?xì)庖约盁醾鞲衅鞯取?/p>

文中針對反應(yīng)堆中一種具有小間隙窄長疊層薄板結(jié)構(gòu)形式的堆芯元件（簡稱板型元件）在高速流場中流體誘發(fā)振動和動態(tài)失穩(wěn)等問題研制出了一種微型傳感器以適應(yīng)電磁法的要求，這種微型傳感器具有體積小，制作簡單，幾乎不干擾“流場”等優(yōu)點。通過對板型元件流致振動試驗的綜合動態(tài)測試，結(jié)果表明這種微型傳感器可靠而有效。 由于堆疊層板狀堆芯元件流致振動及穩(wěn)定性研究是核工業(yè)科學(xué)基金資助課題，其研究內(nèi)容是針對一種新型反應(yīng)堆燃料元件—疊層板狀元件在高速流場中誘發(fā)振動和動態(tài)失穩(wěn)等問題。這些問題的研究竟對反應(yīng)堆熱交換系統(tǒng)的設(shè)計和工藝提供新的測試方法和必要的數(shù)據(jù)，從而克服目前在設(shè)計中的盲目性。 由于研究對象是一種新型構(gòu)件，工作環(huán)境和結(jié)構(gòu)有其特殊性，采用常規(guī)測試方法難以達到目的。通過反復(fù)研究和探索，決定采用電磁測試法的方案。根據(jù)電磁法的要求，首先要有一種傳感器，這種傳感器必須考慮到測試條件的特殊性，屬非標(biāo)準(zhǔn)器件，要滿足課題的要求，只有自行設(shè)計制造。這種微型傳感器為了采集板型元件流致振動的信號供信號分析儀和計算機分析研究，并對電磁測試法的其它電氣設(shè)備進行了探索性的研究。最后通過兩年的實測使用，證明是成功的。該項目曾榮獲核工業(yè)科技進步二等獎。

接線方式：　  　技術(shù)指標(biāo)：　  　型  號CZL-1X量  程300g、500g、600g綜合誤差0.03輸出靈敏度1.0±0.1mV/V非線性±0.02%F.S.重復(fù)性±0.02%F.S.滯  后±0.02%F.S.蠕  變±0.03%F.S.5min零點溫度漂移±1.0%F.S./10℃額定輸出溫度漂移±0.05%F.S./10℃零點輸出±0.1mV/V輸入電阻1055±10Ω輸出電阻1000±10Ω絕緣電阻≥2000MΩ（50V）推薦激勵電壓≤10V工作溫度范圍-10～+40℃過載能力150%F.S.推薦用途手掌秤‍

接線方式：　  　技術(shù)指標(biāo)：　  　型  號CZL-1H量  程0.5Kg、1Kg5Kg、8Kg、20Kg綜合誤差0.02輸出靈敏度1.0±0.15mV/V1.5±0.1mV/V非線性±0.02%F.S.重復(fù)性±0.02%F.S.滯  后±0.02%F.S.蠕  變±0.02%F.S.5min零點溫度漂移±0.2%F.S./10℃額定輸出溫度漂移≤+0.03%F.S./10℃零點輸出±0.1mV/V輸入電阻1055±10Ω輸出電阻1000±10Ω絕緣電阻≥2000MΩ（50V）推薦激勵電壓≤10V工作溫度范圍-10～+40℃過載能力150%F.S.推薦用途廚房秤、郵資秤‍

接線方式：　  　       技術(shù)指標(biāo)：　  　型  號CZL-1R量  程0.6kg1kg2Kg、3Kg、5Kg、6kg綜合誤差0.03輸出靈敏度1.0mV/V1.5mV/V1.2mV/V非線性±0.15%F.S.重復(fù)性±0.03%F.S.滯  后±0.03%F.S.蠕  變±0.03%F.S.5min零點溫度漂移±0.1%F.S./10℃±0.3%F.S./10℃額定輸出溫度漂移±0.03%F.S./10℃零點輸出±0.1mV/V輸入電阻1055±10Ω輸出電阻1000±10Ω絕緣電阻＞2000MΩ（50V）推薦激勵電壓≤10V工作溫度范圍-10～+40℃過載能力150%F.S.推薦用途廚房秤‍